跳到主要內容區塊

无锡英诺赛思科技有限公司

微纳加工

微纳加工
发表时间:2021-05-11     阅读次数:     字体:【

清华大学无锡应用技术研究院集成电路创新服务平台面向集成电路研发企业及高校科研院所提供全套微纳加工服务,内容包

括:

(1)光刻掩膜板加工

(2)光刻

匀胶机,紫外光刻,纳米压印,激光直写

(3)刻蚀

深硅刻蚀,金属刻蚀,硅基薄膜刻蚀,离子刻蚀,去胶机,等离子体清洗机,湿法腐蚀

(4)镀膜

电子束蒸发,磁控溅射,反应磁控溅射,原子沉积ALD,等离子体增强化学气相沉积PECVD,快速退火,电镀

(5)切割

砂轮划片,激光切割

(6)测量

椭偏仪,轮廓仪,台阶仪,扫描电镜,12寸探针台
















 
上一篇:没有了
下一篇:没有了
  • 地址:无锡市滨湖区建筑西路777号A3-101
  • 邮箱:test@tsinghua-wx.org
  • 联系人:徐宏博士 : 13426445751     钟磊:15600909562

创新科技 引领未来

Innovation lead future
回頂端