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GATAN第二代精密刻蚀镀膜仪（PECS Ⅱ）
GATAN第二代精密刻蚀镀膜仪（PECS Ⅱ）是一款桌面型宽束氩离子抛光、镀膜及膜厚测量设备。对于同一个样品，可在同一真空环境下完成抛光及镀膜。设备采用两个宽束氩离子源对样品表面进行抛光，去除损伤层，从而得到高质量样品。用于SEM、光镜或者扫描探针显微镜进行成像。