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徐宏博士
13426445751
钟磊经理
15600909562
刻蚀精度：0.35微米；
主要刻蚀介质：Al、TiN、Ti、HfO、W等金属及化合物材料。
刻蚀尺寸：6英寸、4英寸。均匀性小于5%。