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徐宏博士
13426445751
钟磊经理
15600909562
MJB4紫外光刻机
技术参数:
汞灯光源:350W,350nm~450nm;
掩模板尺寸:5英寸x5英寸;
晶片尺寸:最大4英寸,向下兼容;
接触方式:真空、低真空接触, 硬接触,软接触和接近式;
对准方式:全手动正面对准,红外光及CCD反面对准;
最小线宽:0.8μm;
对准精度: ±0.5μm。