半导体外延检测

型号:Bruker Dimension ICON

主要参数:XY方向扫描范围90um*90um,垂直方向扫描范围10um,样品尺寸可以达直径210mm,厚度15mm,可持续稳定得到原子级分辨率,智能扫描功能

用途及功能:表面形貌(粗糙度)、成分分析、具备接触、轻敲、peakkforce等多种模式成形貌相,摩擦力图像、定量相位图像、表面局域电场力、磁场力、表面电势以及导电性、电场力及磁力图像、表面电势可分辨表面两点电势差绝对值、分辨率10Mv,导电原子力显微镜(CAFM)可测量I/V曲线,表征表面局域导电性

模块功能附件: PFM EFM MAM CAFM