半导体外延检测

F20透射电镜

最大放大: 105万倍 (1,050,000×)
点分辨率: 0.24 nm
加速电压: 200KV
极限(信息)分辨率:0.14 nm
最小束斑尺寸:0.2nm
样品台: 普通单、双倾台,铍双倾台
最大倾转角:±40°
X射线能谱仪元素分析范围:B5~U92
X射线能谱仪能量分辨率: 130 eV

Tecnai G2 F20 S-TWIN 透射电子显微镜是一个真正多功能、多用户环境的200KV场发射透射电子显微镜。它将各种透射电镜技术(包括TEM、SEAD、STEM、EDX频谱成像等)方便灵活地有机组合,形成强大的分析功能。利用它可进行:(1)形貌分析,它获得非晶材料的质厚衬度像,多晶材料的衍射衬度像和单晶薄膜的相位衬度像(原子像);(2)结构分析,观察研究材料结构并对样品进行纳米尺度的微分析,如:高分辨电子显微观察,系列欠焦像分析及出射波函数重构、电子衍射,会聚束电子衍射,纳米束衍射、Z-衬度(原子序数)成像等。成分分析:小到几个纳米尺度的微区或晶粒的成分分析。


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