清华大学无锡应用技术研究院集成电路创新服务平台
仪器型号：TOF.SIMS 5
厂家：德国ION-TOF GmbH
质量范围：大于10000原子量单位
分辨率：空间分辨率（横向小于100纳米，纵向小于1纳米）
技术参数：
1. 并行探测所有离子，包括有机和无机分子碎片。
2. 无限的质量探测范围（实际测量中大于10000原子量单位）。
3. 完全透过率下实现高的质量分辨率。
4. 极高的横向和纵向空间分辨率（横向小于100纳米，纵向小于1纳米）。
5. 探测灵敏度可达ppm或ppb量级。
仪器特点：
1. 样品尺寸可以达到100毫米，200毫米，和300毫米。
2. 五维样品操作台
3. 多种可选择离子源：镓, 铟, 金, 铋, 氧，铯，氩，氙，SF5, C60...
4. 对分析室样品可加热和冷却控制。
5. 进样室可加热/冷却精确控温。能测量易挥发样品甚至液体。
6. 低温样品传输。
7. 可实现铯和氙的混合溅射。
8. 可实现单点成分分析，表面成分成像，深度剖析，三维分析等多种模式。
9. 采用样品电荷补偿，可以测量绝缘样品。
X射线衍射分析仪
电感耦合等离子体质谱仪
流变仪
