清华大学无锡应用技术研究院集成电路创新服务平台
Renishaw inVia拉曼光谱
仪器参数：
激光波长：473nm、532nm、632.8nm、785nm
光谱分辨率：≤0.025nm 光谱重复性：≤±0.5px-1 灵敏度：Si三阶峰信噪比好于30:1
拉曼Mapping空间分辨率：横向约1μm，纵向约2μm
原位拉曼温度范围：液氮温度~600℃ 或 室温~1500℃
应用范围：
1. 对粉末、块体、液体等样品进行微区拉曼光谱测量，还可进行荧光光谱测量（473nm~1000nm）；
2. 可进行分散的多点、线、面扫描和共焦深度扫描，检测样品的成分分布、应力分布等；
3. 可进行温场原位拉曼光谱测量；
4. 可进行偏振拉曼光谱测量；
5. 可与原子力显微镜联用，同时获得样品的形貌和成分信息，可以做针尖增强拉曼散射（TERS）。
X射线衍射分析仪
电感耦合等离子体质谱仪
流变仪
