清华大学无锡应用技术研究院集成电路创新服务平台
1、对铜制程器件有很好的开封效果，良率高于90%。
2、对环境及人体污染伤害较小，符合环保理念。
3、开封效率是普通酸开封机台的3~5倍。
4、电脑控制开封形状、位置、大小、时间等，操作便利。
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