半导体外延检测

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日本Merlin


主要技术参数：

分辨率 0.8nm @ 15 KV

放大倍数 12 – 2000000 X

加速电压 0.02 – 30 KV

探针电流 5 PA – 20 nA

样品室 330mm * 270mm

样品台 5轴中心全自动

用途及功能:

用于观察、分析和记录样品的微观形貌,可测阴极发光CL、EBSD

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