半导体外延检测

Renishaw inVia拉曼光谱

仪器参数:

激光波长:473nm、532nm、632.8nm、785nm

光谱分辨率:≤0.025nm 光谱重复性:≤±0.5px-1 灵敏度:Si三阶峰信噪比好于30:1

拉曼Mapping空间分辨率:横向约1μm,纵向约2μm

原位拉曼温度范围:液氮温度~600℃ 或 室温~1500℃


应用范围:

1. 对粉末、块体、液体等样品进行微区拉曼光谱测量,还可进行荧光光谱测量(473nm~1000nm);

2. 可进行分散的多点、线、面扫描和共焦深度扫描,检测样品的成分分布、应力分布等;

3. 可进行温场原位拉曼光谱测量;

4. 可进行偏振拉曼光谱测量;

5. 可与原子力显微镜联用,同时获得样品的形貌和成分信息,可以做针尖增强拉曼散射(TERS)。

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