半导体外延检测

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仪器功能:测量半导体材料的载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等重要参数

仪器参数：变温，常温和液氮温度(77K)下测量;

阻抗:10-6 - 107

载流子浓度(cm3):107 - 1021

样品夹具：弹簧样品夹具(免去制作霍尔样品的麻烦)；

测量材料：所有半导体材料包括Si,ZnO,SiGe,SiC,GaAs,InGaAs,InP

仪器尺寸：260*220*180 mm


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