半导体外延检测

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仪器型号：瑞士ARL公司X'TRA

仪器功能及附件: 高温装置： 室温-1500℃；低温装置： -190-300℃；薄膜装置　　晶粒度、结晶度、晶格结构指标化、物相检索、定量分析计算等。

仪器使用范围: X射线衍射是研究物质微观结构的重要手段之一。广泛应用于物理学、化学、地学、药学、冶金学、高分子科学、环保、考古、生命科学以及材料科学等。可以分析粘土矿物、合金、陶瓷、食品、药物、生物材料、建筑材料、高分子材料、半导体材料，超导材料、纳米材料，超晶格材料和磁性材料等物相和晶体结构，材料可以是单晶体、多晶体、纤维、薄膜等片状、块状、粉末状等各种固体。


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