光谱椭偏仪_无锡英诺赛思科技有限公司

仪器功能：可测量多晶硅/单晶硅绒面表面单层（二层或多层）减反射膜、和玻璃/有机基底上的薄膜太阳能电池。

技术指标：光源：氙灯

光斑直径：1-3mm

入射角范围：20°到90°,5°/步

波长范围：350-850nm， 250-1100nm， 250-1700nm：0.002°~ 0.02°

波长精度：1nm

测量时间: < 8s （取决于测量模式和粗糙度）

样品尺寸: 125x125mm 156x156mm,200x200mm电池片, 其它尺寸

测量精度：0.02nm

折射率：0.0002, 100nmSiO2 on Si

厚度测量范围：0.01nm ~ 50um

消光比：10-6