材料分析检测业务

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规格型号ContourGT-Ku

 

生产公司德国BRUKER公司

 

[主要参数]

 

1.双LED光源(白光和绿光)中

 

2. 最大垂直测里范围:10mm

 

3. 垂直分辨率:<0.01nmRa

 

4. RMS重现性: 0.01nm

 

5.垂直扫描速度:可达47微米秒

 

6.横向分辨率: 0.38 ume

 

7.倾斜调制范围: +6° (Tp/Tilt)

 

8. 视场范围: 8.24mm至0.05mm

 

9. 台阶测试精度: 0.75%样品台

 

10.移动范围: 150mm(XY 轴)100rm(Z轴);

 

11.反射率范围: 0.05%至100%

 

12.视场范围:从0.1mmx 0.07mm至1 9mmx 1.5mm

 

13.像素点: 1280x960

 

14.最小采样间距: 0.08um

 

15.物镜: 2.5X，10X 50XJ

 

[应用范围]

 

1.可对样品的表面进行三维形貌成像，可测里样品表面的各种尺寸;

 

2.可以获得表面形貌、粗糙度、三维轮廓等精准数据。


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