清华大学无锡应用技术研究院集成电路创新服务平台
ASTRUM 高分辨辉光放电质谱仪
AstruM高分辨率辉光放电质谱仪是分析高纯物质杂质元素的低级仪器，广泛的得到高纯金属，半导体，光伏产业，钢铁等等行业的认可，检测的极限可以达到固体含量的ppt水平，支持无标准分析，低温样品池设计，低熔点的金属。
高分辨率辉光放电质谱仪主要用于高纯材料的杂质分析，例如高纯Si，As， Ge， Cu， Ga， Nb， Ta， 稀土等等，还有陶瓷，玻璃，功能材料等等，是半导体行业，材料行业，冶金行业，等等不可缺少的仪器
技术参数：
连续可调高分辨率
<1cps的背景
主要特点：
连续可调高分辨率
低背景，包括低质量数端的背景
针状，片状样品
高灵敏度，低检测限连续
上一篇 化学吸附脱附分析仪
激光共聚焦白光干涉三维轮廓仪 下一篇
X射线衍射分析仪
电感耦合等离子体质谱仪
流变仪
