主要技术参数:
分辨率 0.8nm @ 15 KV
放大倍数 12 – 2000000 X
加速电压 0.02 – 30 KV
探针电流 5 PA – 20 nA
样品室 330mm * 270mm
样品台 5轴中心全自动
用途及功能:
用于观察、分析和记录样品的微观形貌,可测阴极发光CL、EBSD
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