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第二代精密离子减薄仪 (PIPS II)

技术参数：

离子源

离子枪：两个具有低能聚焦特性的潘宁离子枪

减薄角度：+10° 到 -10°, 每个离子枪均可独立调节

离子束能量：100 V 到 8.0 kV

离子束流密度：10m A/cm2 峰值

离子束对中：利用荧光屏精确对中

离子束直径：可由气流控制器或放电电压来调节

样品台

样品大小：3 mm 或 2.3 mm

样品旋转：1 到 6 rpm 连续可调

束流调制：扇形范围可调的单束调制或双束调制

X, Y 平移：在 X 和 Y 方向上各 +/- 0.5 mm

真空系统

干泵系统：两级隔膜泵支持 80 升/秒的涡轮分子泵

压力：5x10-6 托基本压力，8x10-5 托工作压力

真空规：冷阴极型，用于主样品室：固体型，用于前级机械泵


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