CP离子断面抛光机_无锡英诺赛思科技有限公司

GATAN第二代精密刻蚀镀膜仪（PECS Ⅱ）

GATAN第二代精密刻蚀镀膜仪（PECS Ⅱ）是一款桌面型宽束氩离子抛光、镀膜及膜厚测量设备。对于同一个样品，可在同一真空环境下完成抛光及镀膜。设备采用两个宽束氩离子源对样品表面进行抛光，去除损伤层，从而得到高质量样品。用于SEM、光镜或者扫描探针显微镜进行成像。