1. 检测陶瓷或封闭的电子部件中气体含量。
2. 检测的范围是1~512原子量。
包含十万余种标准物质气体。
3. 其几种主要气氛(如水汽、氮气、氧气、氩气、氢气、二氧化碳等)的准确度在5%以内。
4. 具有较高检测灵敏度,水汽达到100ppm,其余气氛达到10ppm。
5. 针尖:150um;4mm*2mm;
应用
验证封装工艺是否按照预期设计要求进行相应气体成份封装;防止有害气氛比例过高(如水汽)导致器件失效
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