失效分析

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1. 检测陶瓷或封闭的电子部件中气体含量。

2. 检测的范围是1～512原子量。

包含十万余种标准物质气体。

3. 其几种主要气氛(如水汽、氮气、氧气、氩气、氢气、二氧化碳等)的准确度在5%以内。

4. 具有较高检测灵敏度，水汽达到100ppm，其余气氛达到10ppm。

5. 针尖：150um；4mm*2mm；

应用

验证封装工艺是否按照预期设计要求进行相应气体成份封装；防止有害气氛比例过高（如水汽）导致器件失效


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