失效分析

德国WinsamVarioⅢ超声波扫描

电子元器件等内部缺陷检查

1、高分辨的X/Y扫描

2、扫描区域200mm×200mm,300mm×300mm

3、扫描分辨率1um~60mm

4、有 A,B,C,D,G,X 扫描模式

5、最大扫描速度:大约10 秒 / 每幅图像

6、最小门限宽度和时延:1ns;最小门限位置:2ns;最大门限位置:60?s