清华大学无锡应用技术研究院集成电路创新服务平台
MJB4紫外光刻机
技术参数：
汞灯光源：350W，350nm~450nm；
掩模板尺寸：5英寸x5英寸；
晶片尺寸：最大4英寸，向下兼容；
接触方式：真空、低真空接触, 硬接触，软接触和接近式；
对准方式：全手动正面对准，红外光及CCD反面对准；
最小线宽：0.8μm；
对准精度: ±0.5μm。
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