微纳加工

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德国HEIDELBERG, DWL66+激光直写

 

主要规格及技术指标

直写、制版

样品尺寸：2英寸~7英寸；边长50px以上小片

工作波长：405nm

最小特征尺寸：0.6μm

配0.6μm、1μm、2μm模块

线宽均匀性： 60nm @3σ

套刻对准精度：0.1μm @0.6μm模块

直写速度：

6mm2/minute @0.6μm模块

150mm2/minute @1μm模块

600mm2/minute @2μm模块


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