微纳加工

刻蚀精度:0.35微米;

主要刻蚀介质:Al、TiN、Ti、HfO、W等金属及化合物材料。

刻蚀尺寸:6英寸、4英寸。均匀性小于5%。


上一篇 激光直写

砂轮划片机 下一篇