半导体外延检测

1.性能指标:

 

(1)光学系统结构:L型

 

(2)光谱范围:230-870nm

 

(3)光源:*450W除臭氧氙灯(集成式电源),可以显示功率、电压、电流和使用时间。

 

(4)*信噪比:30,000:1,水拉曼峰测试,激发波长350nm,狭缝5nm,积分时间1s。计算公式为S/N=(I397-I450)/I4501/2

 

(5)激发单色器

 

类型:Czerny-Turner

 

*三光栅塔轮结构,全软件控制转动;

 

三个光源入口

 

*焦距:325mm

 

杂散光抑止:1:105

 

光栅1800gr/mm,250nm闪耀波长

 

线色散系数:1.7nm/mm

 

分辨率:0-30nm

 

波长准确度:±0.2nm

 

波长重复性:±0.1nm

 

最小步进:0.01nm

 

*内置电动滤光片消除高级衍射光

 

(6)发射单色器

 

类型:Czerny-Turner

 

*三光栅塔轮结构,全软件控制转动

 

两个检测器出口

 

*焦距:325mm

 

杂散光抑止比:≥105:1

 

光栅1800gr/mm,500nm闪耀波长

 

线色散系数:1.7nm/mm

 

分辨率:0-30nm

 

波长准确度:±0.2nm

 

波长重复性:±0.1nm

 

最小步进:0.01nm

 

*内置电动滤光片消除高级衍射光

 

(7)检测器

 

标配红敏光电倍增管

 

半导体制冷模块,工作温度-20℃

 

*暗噪声<100cps(-20℃)

 

光谱范围:200-870nm

 

(8)*六方形大样品仓(大于40L),计算机自动控制的激发侧衰减片

 

(9)样品室内包含液体石英皿支架及带有温度传感器的循环水出入口

 

(10)*样品仓内标配用于保护探测器的快门开关;计算机控制的信号衰减器

 

(11)*一套软件完成稳态、瞬态光谱测量以及数据分析,无需不同软件之间切换

 

2.主要应用:

 

可以用于液体样品测试,荧光激发和发射光谱,动力学扫描,三维光谱扫描,同步荧光扫描,还可用于固体(粉末、片状、薄膜)等样品测试,配有水浴恒温单池支架(温控范围5°-60°),可进行动力学测试。


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